加工定制否	品牌苏化仪
型号400	类型质量流量计
测量范围1m3/h	精度等级1.5%
公称通径10mm	适用介质O2
工作压力0.3-3MPa	工作温度0-55℃

一、 产品概述
   热式气体质量流量计采用关键矽微机械加工技术的ms流量传感器具有测量微小、小流量的优势的mems（ microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
  热式气体质量流量控制器能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。
二、技术参数（本产品按q/320500hh009-2014进行生产、校验）
2.1  测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）
2.2   流量范围： dn3   100-1000ml/min
                dn4   250-2500ml/min
                dn6   1000-10000ml/min
                dn8   1500-15000ml/min
                dn10  2500-25000ml/min          
        
注：(a)以上流量的测量介质为空气而言；
(b)以上流量的标准状态20℃，101.325kpa。
2.3   流量测量准确度：±1.5%fs
2.4   工作温度范围：0-55℃；
2.5   工作压力范围：0.3mpa，0.6mpa，1.0mpa``
2.6   供电电源：24vdc±10%；
2.7   输出信号：4-20ma，rs485通讯；
2.8   环境温度：0-55℃；
2.9   显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。