半导体流量控制器(mass flow controller)是基于业内的流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款更紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316l不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，超高的集成度使该产品能够缩小一半体积，可以更好的适用于空间要求严格的安装场所。
根据控制原理，半导体流量控制器可以分为两大类：
1、定流量控制器：这种流量控制器是用来控制气体的流量在设定的范围内，不受其他因素的影响。它具有控制精度高、稳定性好、操作简单的优点。
2、变量流量控制器：这种流量控制器可以根据设定的气体流量以及实际的气体流量自动调节，以保证气体的流量在设定的范围内。它具有控制精度高、稳定性好、操作简单的优点，同时还可以根据实际需要自动调节气体的流量。
根据使用场景，半导体流量控制器可以分为以下几种类型：
1、防腐蚀流量控制器：这种流量控制器可以在腐蚀性环境下使用，具有较强的耐腐蚀性。
2、高精度流量控制器：这种流量控制器具有较高的控制精度，可以满足高精度的气体流量控制要求。
3、快速响应流量控制器：这种流量控制器具有较快的响应速度，可以满足快速变化的气体流量控制要求。