h2或ar低温等离子机器清洗对石墨烯有其的优势：
经h2或ar低温等离子机器清洗后，氧化石墨烯悬浊液由液态变为固体，与此同时颜色深浅表明氧化石墨烯被有些还原。h2和氩气等离子体处理后试样低倍和高倍扫描电镜，都可以显著地观察到相互交联、多孔的网络结构。
在射频等离子清洗机等离子体处理过程中样品长期处于低气压状况，结成的冰直接升华为水蒸气，从而维持了样品三维多孔的形貌。对h2和氩气等离子体处理前后的样品进行拉曼光谱的测定。h2和氩气等离子体都可以还原氧化石墨烯，且h2(还原性气体)等离子体对氧化石墨烯的还原情况尤为明显。
h2和ar低温等离子机器能够对氧化石墨烯进行还原的原因，主要是由于h2或氩气等离子体能量可以有效地切断氧化石墨烯片层表面及边缘的含氧键，使得氧化石墨烯的含氧官能团减少，有些还原。用同种气体等离子体处理氧化石墨烯溶液，等离子体放电功率越大，能量越大，氧化石墨烯的还原情况就越大。
低温等离子机器等离子体方式一步快速、有效地还原了氧化石墨烯。通过改变放电气体的类型及放电功率，经拉曼光谱的测试表明，气体的还原性越强，放电功率越大，对氧化石墨烯的还原情况就越高。射频等离子体方式还原处理后得到的三维多孔石墨烯材料，可进一步应用于电容器、储能等领域。