半导体行业用特种气体品种多、质量要求高、用量少，大部分为易燃性、毒性或腐蚀性气体。这类气体在储存、输送及使用过程中，对设备部件的安全性、可靠性要求更高。
1、派克cga diss钢瓶接头：
派克汉尼汾旗下的cga diss钢瓶接头采用316l不锈钢材质，内牙螺母的螺纹表面做镀银处理，增加润滑性，使其在高扭矩下不被锁死。钢瓶接头本体部分经ep电抛光处理，减少颗粒物的产生。
2、va01高频阀系列产品
va01高频阀系列产品响应快速、工作稳定，响应速度可快至2ms，大大提高生产节拍；
采用专业的密封材料和设计，内泄漏量低，性能更稳定，寿命更长，可达5千万次切换寿命；
发尘量低、无润滑油，符合 晶片级纯净度及可靠性的要求，生产更可靠，能有效提高客户的产品质量，适用于电子半导体行业所需的洁净室环境。
此外，产品尺寸小、重量轻、流量大，还可集成针阀以控制真空流量 。该系列产品能够利用集成式真空系统对气体进行高速、精准地抓取与释放（其中va01rdp33集成了产生真空和破坏真空两个功能），广泛用于集成电路、硅晶片、贴片机等应用。
此外，垫片经硬度控制及抛光处理，ra值在10左右。这些工艺使垫片在密封时，在额定扭矩下变形而不损伤接头。作为早参与cga diss标准设计和推广的成员，派克汉尼汾从材质、工艺、设计等方面让产品更加易用、安全和可靠，降低潜在危险。
3、prn摆动气缸
prn摆动气缸采用kuroda轴向密封件设计，减少漏气量，运行更平稳，寿命更长；
叶片轴经过特殊热加工，可增强转矩，扭矩更大，不易折断， 启动压力低，适应更广泛的应用；
可添加缓冲装置crn之类的配件，以提高转速和负载。
prn标准型产品包括prna1,3,10,20等九个类型供用户选择，摆动叶片包括单叶片和双叶片两种类型，有多个角度可供调节，符合晶片切割、绕线机等半导体生产设备的应用需求。