激光干涉仪是一种高精度、非接触式的测量工具，广泛应用于各个领域的实验室和生产现场。本文将从原理、构成部件、优势和应用方面介绍激光干涉仪。
1.原理
激光干涉仪利用激光作为测量信号，通过分束器将一个激光束分成两条相互平行的束线，并对其中一条进行调制形成参考线；另外一条经过反射后与参考线在检测器上发生干涉，由此可得到被测试物体表面形态信息。这种方法可以获得很高的测量精度，通常可达10纳米级别甚至更小。
2.构成部件
一个完整的激光干涉仪主要由三个组件构成：发射源（即发出探测信号的装置）、分束器以及检测系统（包括探头和检查单元）。其中最重要的组件就是显示屏和数据处理模块，在工业自动化等特定行业中也会加入电脑程序来提供更准确、可靠且灵活性较强地使用方法。
3.优劣比较
激光干涉仪具有很高的测量准确度和重复性，能够实现微米级别的精度，另外还可以检测不同材料、形状的物体。与常用的其他测量工具比较起来，它更加灵敏可靠，而且可以进行非接触式测试提供了极大地便利。
4.应用领域
由于其高精度、非接触式等优势特点，激光干涉仪被广泛应用于各个行业：汽车制造、机床制造、船舶工程以及大规模科学研究等领域。在生产流程中也有很多发挥：表面缺陷检测、尺寸精密控制和平均值校准等方面都适合使用这种技术。
5.总结
在当今日益变化着竞争环境下通过引入目前先进技术如激光干涉法对产品质量要求越来越高的情况下,氖氙（he-ne）或者二极管（dpss）为基础构建成立起来一整套支持系统以提供全面完备有效服务成为必然选择。