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机器视觉在拉单晶硅过程中的应用

2024/4/15 2:49:06发布19次查看
1 测量方法
在单晶硅炉的观察窗外架设一ccd相机,辅以隔热护罩及滤镜,从斜上方对固态晶体与液态融液的交界处形成的光圈进行测量。
可根据用户的要求定制与控制系统进行数据通讯的接口,如:将监控软件嵌入到组态软件中,或将数据转化成数字或模拟信号传送给控制器。
2 技术规格
· 可对4、6、8、12英寸的单晶硅棒进行测量。
· 可自动对引晶——放肩——收肩——等径过程中的晶体直径进行测量。
· 可对坩埚中的液面高度进行测量。
· 可检测晶种(籽晶)与液面的接触状态。
· 测量精度 0.1 mm。(注:按标准相机配置,采集分辨率1392×1040;可根据用户要求配置相机。)
· 测量速率:每秒15个数据
软件特色
1) 可任意增加新的检测品种,只需重新设置参数即可。
2) 产品配置可保存,程序运行时选择待测产品的型号即可导入其配置参数。
3) 可手动或自动保存图像,并可设定大保存数。
4) 可对已保存的图像进行回放,并查看图像处理结果。
5) 在屏幕上直观的显示检测结果和状态信息,并可在不同的视图显示模式中切换。
6) 人机界面简单:只需大致调整处理区域并设置少量参数即可。
7) 参数设置具有密码保护功能。
8) 自动软键盘,方便触摸屏操作。
9) 程序界面显示当前产品型号。
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