196年,winefordner和κuga首先提出用原子荧光光谱（afs)作为分析方法的概念。1969年,holak研究出氢化物气体分离技术并用于原子吸收光谱法测定砷。
1974年,tsujiu将原子荧光光谱和氢化物气体分离技术相结合，提出了气体分离-非色散原子荧光光谱测定砷的方法，这种联合技术就是现代常用氢化物发生-原子荧光光谱（hg-afs)。
1982年郭小伟（西北有色地质研究所）和张锦茂（地矿部物化探研究所）两个研究小组合作，研制成功了世界上以溴化物无极放电灯作激发光源的“wyd^2型蒸气发生-双道原子荧光光谱仪。该仪器采用微波激发无极放电灯作为激发光源、自行研制的高温石英管原子化器、间断法氢化反应发生器，可同时测定两个可形成氢化元素及汞原子的原子荧光光谱仪。与此同时，张锦茂、范凡等开展了地球化学样品中as，sb，bi，hg等两种元素同时测定分析方法的研究，取得了令人满意的分析结果。使其成为地矿部开展《20万区域化探全国扫面计划》找矿的重要配套仪器及分析方法，随即将科研成果迅速地转化为商品化仪器，按地矿部统一部署转让给北京地质仪器厂。
1985年开始由北京地质仪器厂和江苏宝应仪器进样系统以小蠕动泵为主并投入批量生产。
1995年以郭小伟为首西北有色金属研究院成立金索坤技术有限公司。
1996年北分瑞利公司与原子荧光光谱专家张锦茂合作，成功研制以蠕动泵为主的原子荧光；随后北京东西电子研究所也推出以蠕动泵为主的原子荧光。
1998年，加拿大aurora公司也推出了一款蒸气发生-原子荧光光谱仪，该仪器的性能基本上接近于我国早期同类型仪器的水平。所以国外原子荧光水平和国内至少相差15年左右。
1999年，北京有色金属研究院为了进一步提高空心阴极灯的辐射强度，满足原子荧光分析高灵敏度的需求，在我国早期吴廷照、高英奇研制成功的原子吸收高性能空心阴极灯[13]基础上结合原子荧光的特点，研制成功了用于原子荧光的“高性能空心阴极灯。一直沿用至今。
关键词：荧光光谱仪 光谱仪 蠕动泵 有色金属