双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式（见图1）。
将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行i14v23和i13v24组合测量，测量过程如下：
1.进行i14v23组合测量：
电流ｉ从１针→４针，从２、３针测得电压v23+；
电流换向，ｉ从４针→１针，从２、３针测得电压v23-；
计算正反向测量平均值：v23＝(v23+ ＋v23-)／2；
2.进行i13v24组合测量：
电流ｉ从１针→３针，从２、４针测得电压 v24+；
电流换向，ｉ从３针→１针，从２、４针测得电压 v24-；
计算正反向测量平均值：v24＝(v24+ ＋v24-)／2；
3.计算（v23／v24）值；
（以上v23、v24均以 mv 为单位）；
4.按以下两公式计算几何修正因子ｋ：
若 1.18＜（v23 ／v24）≤1.38 时；
k＝－14.696＋25.173(v23／v24)－7.872(v23／v24)2； …(1)
若 1.10≤（v23／v24）≤1.18 时；
k＝－15.85＋26.15(v23／v24)－7.872(v23／v24)2； …(2)
5.计算方块电阻 r□ ：
ｒ□ ＝ｋ·(v23／ｉ) (单位：ω／□) ； …(3)
其中：ｉ为测试电流，单位：ma；
v23为从２、３针测得电压v23+和v23-的平均值，单位：mv；
6.若已知样品厚度w，可按下式计算样品体电阻率ρ：
ρ＝r□·w·f(w/s)／10 (单位：ω.cm)； …(4)
其中：ｒ□为方块电阻值，单位：ω／□；
w为样片厚度，单位：mm（w ≤3mm）；
s为探针平均间距，单位：mm；
f(w/s) 为厚度修正系数；
7.计算百分变化率（以测试样品电阻率ρ为例）：
ρm －ρm
大百分变化（％）＝─────×100％ …(5)
ρm
│ρa －ρc │
平均百分变化（％）＝─────────×100％ …(6)
ρc
２（ρm －ρm ）
径向不均匀度ｅ（％）＝──────────×100％ …(7)
ρm ＋ρm
以上式中：ρm 、ρm 分别为测量的电阻率大值与小值，单位：ω.cm；
ρc 为第1、2 点（即圆片中心测量点）测量平均值，单位：ω.cm；
ρa 为除第1、2 点外其余各点的测量平均值，单位：ω.cm；
（若测量样品的方块电阻值,则将(5)、(6)、(7)式中的ρm 、ρm 、ρa 、ρc 分别改成ｒm 、ｒm 、ｒa 、和ｒc 。其公式意义与ρm 、ρm 、ρa 、ρc 相似）。