四氟化碳分析氦离子色谱仪适用于高纯四氟化碳中痕量杂质的检测，zui小检测浓度可达5ppb。四氟化碳分析氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器，采用*的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量一致。
四氟化碳分析氦离子色谱仪适用于高纯四氟化碳中h2、o2（ar）、n2、ch4、co、co2、sf6、c2f6、c3f8等痕量杂质的检测，仪器配备高灵敏度的氦离子化（pdhid）检测器，采用中心切割与反吹技术，配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器，通过无死体积取样或在线进样方式，一次性完成高纯氨中杂质的检测，检测限达ppb级，重复性rsd≤1％。
四氟化碳分析氦离子色谱仪系统配置：
（1）gc-9560-hg四氟化碳分析氦离子色谱仪
（2）氦离子化检测器（pdhid）
（3）中心切割系统
（4）多柱箱系统
（5）氦气纯化器
（6）标准气体
（7）色谱柱