超精密气浮台是基于静态气动轴承，其安装在滚珠面板基底：顶部与面板连接，由承转子组成。在球和板之间有气隙。定子与台座外壳对应的负形连接。定子采用内节流原理安装，气动分布通道系统与喷嘴组合。转子定子与转子在定压和负载下没有接触。可用于圆度测量系统、中心偏差测量系统和粗糙度测量系统。
超精密气浮台基本特性
超精密气浮台载重能力强，重复精度高；无限的使用寿命；无尘室应用环境；不滑行动作；不磨损，不调整。
技术指标：
转动精确度(径向和轴向跳动)。玻璃纤维编码器：相对定位精度。有两个版本的空气轴承转盘：转盘，有角编码器，连转盘旋转均匀，无角度位置控制。
可以根据应用程序使用其他驱动器：
带子传动采用dc高精度齿轮装置，高精度定位，转速每分钟可达3转；dc驱动，dc驱动采用dc无刷力矩电机，转速在0.2-200rpm之间；全部转盘都是水平或垂直的。该设备配置精密地支撑板和带有螺纹孔的螺纹孔来夹住螺母或t型槽(可供选择)。
选择：
平倾调节装置；吸附器；电子旋转控制装置；
高分辨角编码器；
岩石基础，带有减震元件，
气体过滤器系统
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