woq sysrem ⅰ
x、y、z轴行程：150×150×120mm
分解度：0.00625mm
定位精度 ：0.01mm
重复精度 ：2.5um
定位速度 ：4m/minwoq system ⅱ
x、y、z 轴行程：350×250×120mm
聚光物镜规格 fl16 fl25 fl50 fl75 fl100 fl125 fl150
绝对精度(um) 2 3 6 10 15 20 25
重复精度(um) 0.1 0.4 1 2 4 8 10
测定行程(mm) 0.5 1.8 8 18 35 45 70
工作距离(mm) 9 15 35 60 70 240 110