压阻式
压阻式压力传感器是一种常见的压力传感器,主要利用单晶硅的压阻效应来完成工作。当压力发生变化时,单晶硅会发生应变反应,从而使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,这时候只需要通过测量恒定电压下的电流变化,便可以推导出单晶硅受到的压力。
电容式
电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。相较于其他压力传感器,它具有输入能量低、高动态响应、自然效应小、环境适应性好的特点。电容式压力传感器使用的材料一般为圆形金属薄膜或镀金属薄膜,当薄膜受到压力产生形变时,电容器的容量也会产生改变,从而将压力与电容之间构成了一定的联系,进而完成对压力的测量。
应变式
应变式压力传感器是利用弹性敏感元件和应变计将被测压力转换为相应电阻值变化的压力传感器,根据制作材料的不同,应变元件可以分为金属和半导体两大类。
除了压阻式、电容式、应变式压力传感器以外,常见的还有压电式、振频式、光电式、光纤式、超声式压力传感器等。压力传感器的出现一定程度上为重量的测量、水压的测量等领域提供了新的技术支持,可以说压力传感器是目前各个行业常用的传感器之一。
