离轴抛物面镜的表面平整度或表面光洁度是一个重要的指标,主要有三种评估方法,分别是rms,ra和pv,比较表面光洁度的前提是采用同一套评估方法。目前主流的离轴抛物面镜工艺可能保证在太赫兹和红外波段有较好的光斑均匀性,而对于可见光波段,则需要采用特殊的表面处理,我们目前已经可以做到rms仅20nm的水平。
离轴抛物面镜有如下特点:
1,利用传统车削铣削工艺,异形、减重、毛坯加工更快,成本更低;安装孔结构可以直接加工在反射镜结构中,减少了系统的复杂程度。
2,利用超精密金刚石机床,加工成本和工时都比玻璃反射镜低一个数量级,尤其是非球面反射镜,这使一些产品的低成本量产成为可能。
3,由于机床精度水平限制,面形和光洁度还做不到玻璃反射镜那样的精度,但配合离子束和精抛等手段可以弥补不足。
4,以目前的工艺水平,金属反射镜在红外波段等长波波段和全波非成像系统中已经可以满足使用要求。
5,此外,金属材质还具有比玻璃更明显的优势,比如不易碎等等;随着超精密机床的升级,离轴抛物面镜在反射镜领域会占有越来越多的比重。