迷你型探针台
特点
紧凑的结构
轻巧的重量
实惠的价格
可以做光电方面测试应用
led/ld/pd的光强/波长测试
可以进行射频测试，加装东/西方向针座
适合大学实验室通用
适合4以下晶圆测试
chuck通过x-y方向丝杠驱动
无后座力移动
规格
真空吸附型chuck
4英寸不锈钢材质
chuck行程
x-y方向行程4x4
chuck移动精度
10微米
chuck可旋转角度
0~360°
平台
可放置6个针座
需求
电力
220vac,60hz
真空
-250mmhg,7liter/min
尺寸
400mm长x400mm宽x400mm高(带显微镜)
重30kg(带显微镜)
可选附件
chuck快速拉出装置
积分球夹具
显微镜倾仰装置和快速移动装置
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试
视频ccd系统
封装器件夹具
pcb板夹具
加热系统
防震台
箱
镀金chuck