x射线镀层测厚仪一般是由两个激光位移传感器上下对射的方式组成的，上下的两个传感器分别测量被测体上表面的位置和下表面的位置，通过计算得到被测体的厚度。x射线镀层测厚仪的优点在于它采用的是非接触的测量，相对接触式测厚仪更精准，不会因为磨损而损失精度。相对超声波测厚仪精度更高。相对x射线测厚仪没有辐射污染。
x射线镀层测厚仪是基于三角测距原理，使用集成式的三角测距传感器测量出从安装支架到物体表面的距离，进而根据支架的固定距离计算得出物体的厚度。
激光束在被测物体表面上形成一个很小的光斑,成像物镜将该光斑成像到光敏接收器的光敏面上,产生探测其敏感面上光斑位置的电信号。当被测物体移动时,其表面上光斑相对成像物镜的位置发生改变,相应地其像点在光敏器件上的位置也要发生变化,进而可计算出被测物体的实际移动距离。
两个激光位移传感器的激光对射，被测体放置在对射区域内，根据测量被测体上表面和下表面的距离，计算出被测体的厚度。
x射线镀层测厚仪的基本组成是激光器、成像物镜、光电位敏接收器、信号处理机测量结果显示系统。激光束在被测物体表面上形成一个亮的光斑，成像物镜将该光斑成像到光敏接收器的光敏上，产生探测其敏感面上光斑位置的电信号。当被测物体移动时，其表面上光斑相对成像物镜的位置发生改变，相应地成像点在光敏器件上的位置也要发生变化，两者之间的关系：
测厚计算公式
测厚计算公式
式中：
x、x`——分别是被测物位移和光敏器件上像斑的位移；
l、l`、α——是系统的结构参数,是根据具体使用要求而选定的。
由此可见精确地测量x`就可以得到被测物体的位移量，这就是三角法测量位移的原理。