3、干涉法：是利用光波干涉原理测量表面粗糙度的一种测量方法。常用仪器是干涉显微镜。主要用于测量rz值。测量范围为rz0.05~0.8µm。一般用于测量表面粗糙度要求高的表面。
4、针描法：是一种接触式测量表面粗糙度的方法，常用的仪器是电动轮廓仪，该仪器可直接显示ra值，适宜于测量ra值0.025~6.3µm。
5、印摸法：在实际测量中，常会遇到深孔，盲孔。凹槽，内螺纹等既不能使用仪器直接测量，也不能使用样板比较的表面。这是常用印摸法。印摸法是利用一些无流动性和弹性的塑性材料（如石蜡等）贴合在被测表面上。将被测表面的轮廓复制成模。然后测量印模，从而来评定被测表面的粗糙度。