1、超净室是一种严格管理环境卫生自然环境的屋子，关键用以电子光学元器件制作，超净室内能够开展点胶、光刻技术、挥发表层的镀膜及键合，清理、烘干处理、电镀工艺、浸蚀、蔓延及碾磨等。超净室标准的维持也*其关键，*须维持本人日常保洁、常常维护保养超净室自然环境的机器设备、搞好设备维护管理运作纪录。
2、洁净室，称净化车间、无尘室或清静室。洁净室的关键作用为室内空气污染操纵，沒有洁净室，环境污染比较敏感零件不太可能大批量生产。洁净室被界定为具有空气净化、分派、提升、结构原材料和设备的屋子，在其中特殊的标准的操作流程以操纵气体飘浮颗粒浓度值，进而做到适度的颗粒洁净度等级。
3、无尘室*关键之功效取决于操纵商品所触碰之空气的洁净度等级日及温度湿度，使商品能在一个*良自然环境室内空间中生产制造、生产制造，此室内空间大家称作洁净室。自然这一规范中合乎尘土规范的颗粒物相对性于大家普遍的尘土早已是小的几乎为零，可是针对电子光学结构来讲，就算是一点点的尘土都是会造成十分大的不良影响，因此 在电子光学结构商品的生产制造上，洁净是*定的规定。