高激光脉冲能量有利于哪些方面？

2024/3/31 19:52:54发布17次查看

首先，提高了靶材料的沉积速率。根据激光脉冲能量不同，可以达到每分钟几微米。
其次，在给定的流量下，能够在靶上烧蚀更大的面积。面积的扩大提高了沉积速率，降低了羽辉的角度，从而达到更高的沉积效率。
产生的波长为193nm和157nm的高光子能量提供了更大的加工窗口，也可以对透明聚合物和硬的靶样品在远大于烧蚀阈值的情况下进行稳定成功的材料烧蚀。更紧凑的能够输出能量在200mj与500mj之间的高能脉冲，同时具有的脉冲－脉冲稳定性（通常为0.5%，1）。

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