一六测厚仪的基本工作原理是,当测量头与被测图案接触时,测量头装置产生的高频电磁场会使测量头下方的金属导体产生涡流,其幅度和相位是导体和探头之间非导电涂层厚度的函数。即,由涡电流产生的交变电磁场将改变探针参数,并且探针参数变量的大小以及电信号转换处理可以获得待测涂层的厚度。那么,影响其测量精度的原因是什么呢?
1、当覆盖层的厚度大于25μ时,误差大约与覆盖层的厚度成正比;
2、金属的电导率对测量有影响,它与金属材料的组成和热处理方法有关;
3、一六测厚仪要求母材具有临界厚度,只有厚度大于该厚度时,测量才不会受到母材厚度的影响;
4、测厚仪在图案测量上有一个边缘,即在图案的边缘或内角附近的测量是不可靠的;
5、样品的曲率对测量有影响,并且随着曲率半径的减小,这种影响将显着增加;
6、母材和覆盖层的表面粗糙度影响测量的准确性和粗糙度,影响会增加;
7、一六测厚仪对防止探针接触覆盖层表面的粘附物质敏感,因此在测量之前应清除探针和覆盖层表面上的污垢;保持探头和测试表面在恒定压力下垂直接触。