此前，sk海力士规划的是为年底建成的m16工厂配备，但来自德国cb的消息称，m14老厂也会引进。
euv光刻机参与的将是sk海力士的第四代(1a nm)内存，在内存业内，目前的代际划分是1x、1y、1z和1a。
euv光刻机的参与可以减少多重曝光工艺，提供工艺精度，从而可以减少生产时间、降低成本，并提高性能。
当然，euv光刻机实在是香饽饽。的制造商asml(荷兰阿斯麦)产能极有限，尽管一台要10亿元左右，可仍旧供不应求。这一回新老工厂其上位，不知道sk海力士从asml那里敲定了多少台。
另外，本次报道称，三星2021年将投产euv工艺生产的内存，也就是早些时候发布的16gb容量lpddr5。
原标题：sk海力士加速量产第四代内存：新旧工厂齐上euv光刻机