一、电子束参数
电子束参数主要包括电子束的能量、聚焦度及束直径等,这些参数直接影响到电子束的线密度和成像分辨率。能量越高,电子波长越短,图像分辨率越高;聚焦度越高,束直径越小,能够成像的最小物体尺寸也相应减小。
二、样品准备
样品制备的质量对于最终成像的质量同样十分重要。例如,在图像中,如果沉积的颗粒很大,并且位置不均匀,将导致成像分辨率受到影响。另一方面,样品的厚度也会影响成像分辨率。样品过厚会导致电子束的衍射和吸收,降低分辨率,因此在制样过程中需要保证样品厚度均匀。
三、辅助设备的质量
辅助设备的质量对电子显微镜的成像质量也有非常重要的影响。例如,差动抽取、极限抽取和光圈大小的选择会影响到能否得到高分辨率成像,这些因素同时也会影响信噪比和对比度。
四、成像条件
电子显微镜成像时,需要设置曝光时间、扫描速度和扫描模式等参数,来确定最佳成像条件。因此,成像条件的调节和优化都会影响成像分辨率。