据报道：日本三井化学在光罩用软薄膜事业上，今后将正式进行氟二聚物(f2)excimerlaser用软薄膜的开发。该公司是日本国内光罩用薄膜的大企业之一，目前主要产品是氟化氪(krf)excimer laser用的软薄膜，针对氟化氩(arf)excimer laser用的软薄膜已大致完成开发，今后要正式推出arf用产品。在软薄膜中亦将重点放在最尖端产品，采取确保利益策略，将致力开发需求强烈的f2用，以继续维持领先地位。三井化学是日本软薄膜事业的领先企业，持有将近20年历史，在日本国内的市场占有率是整个软薄膜将近50%，krf用和arf用则约70%。
今后，还将该新产品进一步打入国际市场。
