低压差质量流量控制器，最小工作压差为800pa。
通过开发的环境温度补偿传感器降低压力损失，该传感器具有低压力损失规格和±1%fs的精度。
专有的压电执行器阀可提供精确的流量控制和低压差稳定性。
特征低压差（800pa）
工作温度5-50℃
金属密封
清洁（保证颗粒）
环境温度补偿传感器
rs-485通讯
选项微流fs
低温低蒸气压气体流量控制mc-3000s是一款低差压质量流量控制器，采用开发的低压降结构，即使在室温下，只要二次侧处于真空状态，也可以控制h2o等液体原料的流量。推荐用于向真空室发送少量水蒸气的 ito 溅射方法。此外，还可以在室温下控制xef2等低蒸气压固体材料的流量。
真空罐式集装箱（sds集装箱）流量控制离子注入机使用ash3、ph3等特殊材料气体，为了安全稳定地供应，通常采用安全传输源（sds）容器来供应。sds填充的罐压低于大气压，需要mfc能够以低压差控制流量。mc-3000s的低压降结构可实现最小压差800pa（6torr）的流量控制。
规格表
温度 最小压差 最大压差 准确性 控制范围 最小满量程 最大满量程 贴纸
5~50℃ 800帕 133kpa ±1%满量程 2~100%满量程 2sccm 30sccm 金