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中空式二维压电偏摆台

2024/3/25 11:15:18发布25次查看
s54系列是具有中心通孔,二维θxθy轴方向运动的压电偏摆台,内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化,使其角度偏移小,响应速度快。采用压电陶瓷驱动实现偏转范围达±1mrad,分辨率可达0.05μrad,可选择配置闭环传感器实现0.1%f.s.的重复定位精度。
s54的台体非常薄,厚度仅为20mm,80×80mm的中心通孔使其非常适用于亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用。
特点
• θx、θy偏摆运动
• 开环/闭环可供选择
• 80×80mm通孔
• 分辨率高
• 适于加速度/角速度传感器标定
电压位移曲线
应用
s54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于激光合束等应用。
技术参数
型号:s54.t2
运动自由度:θx、θy
偏摆角度(0~120v):±0.8mrad/轴(≈±165”)
偏摆角度(0~150v):±1mrad/轴(≈±200”)
闭环传感器:sgs
闭/开环分辨率:0.25μrad(≈0.05”)/0.05μrad(≈0.01”)
闭环线性度:0.2%f.s.
闭环重复定位精度:0.1%f.s.
推/拉力:40/8n
运动方向刚度:0.5n/μm
空载谐振频率:x450/y400hz
闭/开环空载阶跃时间:20/3.5ms
闭环工作频率(-3db):110hz(空载)
承载能力:1 kg
工作温度范围:-20~80℃
静电容量:3.6μf/轴
材质:铝、钢
重量:510g
出线长:1.5m
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