精密水平仪置于工作台面*（见图一），移动x轴，在全行程范围内读出x-z平面（由a读出）和y-z平面（由b读出）数值差；
标准直尺置于工作台面上，使之与x轴平行，移动x轴，在全程范围内读出直尺面与立柱的距离之差（见图二）。
注：上述为检测x轴滑轨在三个平面内的直线度。
2. 工作台在y轴运动方向之直线度
精密水平仪置于工作台面*（见图三），移动y轴，在全行程范围内读出y-z平面（由b读出）和x-z平面（由a读出）数值差；
标准直尺置于工作台面上，使之与x轴平行，移动x轴，在全程范围内读出直尺面与立柱的距离之差（见图四）。
注：上述为检测y轴滑轨在三个平面内的直线度。
3. x轴运动方向对工作台面的平行度
千分表座固于z轴上，表针打至工作台面上，x轴移动，在全程范围内读出数值。
4. y轴运动方向对工作台面的平行度
千分表座固于z轴上，表针打至工作台面上，y轴移动，在全程范围内读出数值。
注：上述为检测工作台面安装对其导轨的x轴和y轴方向的平行度。
5. 工作台面的直线度
标准直尺置于工作台面*（分x轴与y轴方向）调整等高块，使直尺与工作台面平行，测直尺面与工作台面在全行程范围内距离差值。
x－z平面数值由直尺放置x轴方向读出；
y－z平面数值由直尺放置y轴方向读出.
注：上述分别由x轴和y轴方向测出工作台面直线度，组合起来实为工作台面的平面度。
6．x轴运动方向对工作台t型槽的平行度
具体操作：千分表座固于z轴上表针指至t型槽侧壁,移动x轴，全行程内读出数值差。
7．x轴与y轴运动方向的垂直度
具体操作：置标准角尺平放于工作台面上校直基准边（如x轴方向），移动垂直方向轴（如y轴），每300mm范围内读数值差（见图）。
注：该项为检测x轴与y轴导轨安装垂直度。
8．z轴运动方向上的主轴直线度
具体操作：标准角尺置于工作台*（见图），调整等高块，使角尺测量边与z轴平行。移动z轴每300mm ，测z轴对测量边的跳动差值。
z—x方向由角尺放置x轴方向测得。
z—y方向由角尺放置y轴方向测得。
注：该项为测z轴导轨的直线度。
9．z轴运动方向和工作台面的垂直度
具体操作：标准角尺置于工作台面*（见图）
移动z 轴，测出差值（每300mm）
z—x方向由角尺放置x轴方向测得。
z—y方向由角尺放置y轴方向测得。
注：该项为测z轴对工作台面的垂直度。
10．工作台面和主轴轴线的垂直度
具体操作：千分表座固于主轴上，表针打至工作台面，以直径为300mm划圆测出数值差。
z—x平面由表针旋至x轴方向侧得。
z—y平面由表针划圆旋至y轴方向侧得。
11．主轴锥孔与主轴的同轴度
具体操作：标准芯棒置于主轴锥孔，主轴旋转，测芯棒之偏摆数值差。（见图）
12．主轴内孔径向跳动
具体操作：千分表座固于工作台或主轴座上表针打至内孔壁（见图），测跳动数值差、主轴转动。
注：该项为测主轴内锥孔的圆度。
13．主轴端外圆径向跳动
具体操作：该项与第12项同理。
14．主轴端面轴向跳动
具体操作：该项与第12大项同理。
以上检测要点：
第1、2、7、8、9为测三轴导轨精度
第3、4 为测工作台安装精度
第5、6 为测工作台精度
第10为测主轴安装精度
第11、12为测主轴内锥孔制造精度
第13、14为测主轴端制造精度
第5、8项固无量具无法直接测出，可用描点法间接测出，方法如下：
第5项具体操作：在测第3、4项同时，在所测范围长度内分若干段，读出其对应数值比例，作图求出其直线度（见图）。
第8项具体操作：在测第9项同时按上述同理求出。