2ω法纳米薄膜导热仪TCN-2ω技术解析

2024/3/24 1:08:22发布20次查看

2ω法纳米薄膜导热仪tcn-2ω技术解析
该装置是目前世界上唯yi使用2ω法测量纳米薄膜厚度方向热导率的商用装置。与其他方法相比，样品制作和测量更容易。
用量化低k绝缘膜的热阻，用于半导体器件的热设计
绝缘膜的开发与散热的改善
热电薄膜应用评价
特征可以测量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的热导率。
使用热反射法通过温度幅度检测实现测量
测量样品的简单预处理
规格测量温度转播时间
样品尺寸宽度 10 毫米 x 长度 10 至 20 毫米 x 厚度 0.3 至 1 毫米（板）
测量气氛在真空中
关键词：导热仪

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