微量氧分析仪的原理有化学电池法、原电池法、燃料电池法、赫兹电池法和浓差电池法。可用于空分制氮行业、化工流程、磁性材料等高温烧结炉保护性气体、电子行业保护性气体以及冶金、玻璃、建材行业的氧含量在线分析。微量氧分析仪选用进口燃料电池传感器，具有寿命长、精度高、响应快等特点。用于高纯氢气等还原性气体中微量氧的测量，采用大屏幕点阵lcd液晶显示。温度自动补偿，消除环境温度的影响，上下限控制点可在全量程范围内任意设置。
在进行微量氧分析时，由于空气中氧含量高，故而如果处理不当极易造成对样品的污染和干扰，出现分析结果数据不正常，一些因素可能会影响微量氧分析仪的测量使用，比如：
1.背景气干扰
如燃料电池式分析仪，不同的主背景气（与背景气的摩尔质量有关），会影响分析结果。并且少量的氢气也会对分析结果产生较大的影响。对于样气中含有微量酸性气体的情况，只有特殊型式的赫兹电池式氧分析仪才能排除于扰，防止传感器中毒，给出正确分析数据。其他燃料电池式氧分析仪均不能用于酸性气体分析。
2.干扰杂质影响
干扰杂质主要指除背景气和待测组分外存在的少量未知杂质，如燃料电池式微氧仪对酸性、氧化性气体敏感，如果气体中含有酸性气体成分，如co2，h2s，hcl，hcn等，则燃料池传感器易中毒失效。而微量的还原性气体对氧化锆式微氧仪的分析结果产生影响，近又发现微量的n2o对氧化锆式微量氧分析仪产生影响，所以在检测时要充分考虑到杂质的存在，选择恰当的分析仪，才能得到准确的结果。