（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常， 模拟的mfc/mfm输入输出信号为0～+5v或4～20ma， 数字式mfc/mfm还配有rs232或rs485数字串行通讯口， 能非常方便地与计算机连接， 进行自动控制。
（3）地定量控制流量质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
（4）适用范围宽，有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10mpa； 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如hcl）；有很宽的流量范围，我们的产品zui小流量范围可达0～5 sccm，zui大流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～ （量程比为-- 50:1）， 因此在很多领域得到广泛应用。