什么是 omd-1000?这是一种分光膜厚监测监视器,可在气相沉积过程中用单色光监测基板上的光量变化。也用于本公司自有的薄膜蒸镀装置,作为蒸镀部件制造商的专有技术,作为膜厚监测装置完成。
概述全波长范围以往机型的波长选择是滤光片型,但新产品搭载了本公司业绩良好的分光器,现在可以选择任意波长。
膜厚变化信号由电压输出转为与个人电脑兼容的数字输出,控制机构由手动操作转为个人电脑指令控制。此外,通过i/f直接与个人电脑连接,可以控制膜厚计主体,是一个非常紧凑的系统,不需要像其他制造商那样的控制器。
特征带光谱仪的紧凑型设计
通过提高抗噪性实现高度可靠的膜厚监测(静电放电测试耐压±5 kv)
可通过来自 pc 的命令进行自动控制
通过将控制器集成到接收器主体中实现高性价比
产品规格模型 omd-1000
光谱仪类型 czerny turner 型单色
波长范围 保证范围:380 至 900 nm 可操作
范围:350 至 1100 nm
波长分辨率 狭缝 0.5mm:4.2nm [546nm]
狭缝 1.0mm:8.3nm [546nm]
波长精度 ± 1.0 纳米
小波长馈电 0.1nm
外部控制 rs232c
外部输出端子 dc0-2v(满量程)
采样间隔 100ms 或更多
静电放电试验耐压 ±5kv(实际8kv)
光源 12v100w卤素灯
光强度稳定性 ±0.1%/小时以下
输入电压 ac100v 50 / 60hz
允许输入电压 ac85-132v
视在功率 340va以下
使用环境 温度10-35℃
湿度20-80%
* 请注意,产品规格和外观如有更改,恕不另行通知。
关键词:监视器 控制器 光谱仪
