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纳米粒子陶瓷薄膜结构稳定性的工艺控制((下)

2024/3/17 13:46:08发布18次查看
2.2.2干燥过程中的控制
措施之一就是引入碱性(如甲酰胺类)或酸性(甲酸等)干燥控制剂dcca,形成结构质点较大或较小、同时质点与孔径大小分布狭窄的凝胶,从而使得溶剂蒸发时,凝胶内部应力均匀不致开裂。图4为干燥控制剂对凝胶膜层孔径分布影响示意图。
图5、图6图7示出薄膜表面形貌及dcca对其影响。总的来看,添加dcca后,薄膜表面平整度、晶粒大小及分布、薄膜开裂情况都有所改善,干燥后的凝胶膜(图6)要比高温后的结晶膜结构均匀。凝胶膜的均匀平整表明溶胶是均匀的,浸涂提升制备的溶胶一凝胶膜是比较均匀的。对凝胶膜的热处理过程会出现两种不同情况:一种是基片与凝胶膜结合力比较弱,极限情况就是无支撑薄膜,在热处理过程中膜的收缩比较大,在较低温度下就可形成相对结构紧凑的薄膜;另一种是基片与凝胶膜的结合力比较强,当凝胶膜受热后,溶剂和其它如络合剂等有机溶剂进一步挥发,凝胶膜在基片上原位析出细小的薄膜颗粒,但由于颗粒与基片结合比较强,薄膜颗粒在低温下活动能力很小。当高温处理时,由于热运动,薄膜颗粒在基片上发生相对迁移,如果基片均匀,薄膜粒子的运动无方向性,即向各个方向运动的几率相同,导致薄膜均匀收缩,形成均匀的薄膜;但若基片表面不均匀,则薄膜粒子优先向低势能位扩散,造成薄膜在基片表面凹处的沉积大于突起处,薄膜在基片表面的厚度分布不均匀引起膜层内应力分布不均,各处收缩大小不同而开裂。图5、图7表明,moo3膜晶粒生长速度和与基片结合强度都大于 tio2膜,后者开裂较多主要是基片表面不均性的缘故。
图5无dcca(a)和有dcca(b)w——tioz结晶膜的对比(10000x)
(a)film made of sol without dcca(b)film made of sol with dcca
图 6 dcca对 srtio3凝胶膜的表面形貌的影响
图7添加dcca的moo3结晶膜的表面形貌
作者/徐明霞,窦雁巍,石明,刘军,刘丽月,徐廷献
(天津大学材料科学与工程学院
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