自1964年台co2激光器研制成功以来，流动型、横向激励型、高气压型、波导型、气动型等各种co2激光器相继出现，发展迅速。co2激光器受到人们重视的主要原因是它具有很多明显的优点。例如，它既能连续工作，又能脉冲工作，输出功率大，效率高。它的能量转换效率高达20%~25%，连续输出功率可达100000瓦量级，脉冲输出能量可达100000焦耳量级，脉冲宽度可压缩到纳秒级。特别是co2激光波长正好处于大气窗口，并且对人眼的危害比可见光和1.06um红外光要小得多。因此，它被广泛用于材料加工、通信、雷达、诱发化学反应、等发面，还可以用于激光引发热核发应、激光分离同位素及激光等。