1）电源
检查进线电源的电压波动应在±10%范围内，同时检查高次谐波的严重情况、功率因素的大小以及是否需安装稳压电源等。
2）电极丝
电极丝的质量、安装、保存等因素直接关系到加工后工件质量的好坏。加工较厚工件时应选用较粗的电极丝，有利于排屑且可提高其张力；检查电极丝安装过松或过紧时，都容易造成断丝；检查电极丝安装的位置若偏离中心位置或不在同一平面内，极易被卡断或夹断；检查电极丝的保存应该规范，受潮、氧化、暴晒后会导致电极丝变脆。
3）控制柜
控制柜应注意防尘防潮。积灰受潮时会造成ba路板腐蚀以及短路或断路现象，进而损坏电子元件等，甚至整张电路板报废。
4）线切割加工液
线切割机床加工液的作用是帮助冷却、洗涤、排屑，加工液的好坏直接关系到加工后工件质量的好坏。线切割加工液不应过黑，且不应有异味。否则，其综合性能变差，易导致断丝。
易损件检查法
设备长期运行后，出现的故障大部分都是由于易损件的损坏而造成的。易损件主要有导轮、挡丝装置、断丝保护挡丝体、导电块、缓冲垫、行程开关等。