两种气体同时通过涂层进入反应舱,气体在离子环境中聚合。这种应用比活化和清洁要求更严格。其典型应用是形成保护层,用于燃料容器、防刮表面、类似材料的涂覆、防水涂料等。涂层非常薄,通常是几微米,此时表面的亲和力非常好。
常用的有防水涂装处理后的生成物为co2和h2o,不污染环境,在非常清洁的环境下工作,等离子清洗是目前处理样品的技术。其优点是处理后没有残留物,可以防止样品在今后的使用中形成污垢,在非常敏感的薄膜微量分析中不形成吸收层,在高扩展率下获得更好的数据,最真实的表面成像和表面成分分析,成本低,操作方便,即使样品表面没有形成污垢,也可以通过等离子处理优化观察表面。
目前,等离子清洁机的工艺正应用于引线框架、平板显示器的清洗和蚀刻。电浆清洗后的产品。可以显著提高焊线的绑定强度,降低电路故障的可能性;溢出的树脂,残留的感光阻剂,溶液残留物和其它有机污染物暴露在电浆区域,可以在短时间内清除。目前,许多制造商使用等离子体处理来去除污垢带走钻孔中的绝缘物。对于许多产品来说,它们在工业、电子、航空、健康等行业的应用大部分取决于两个表面之间的粘结强度。
无论表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料还是其中的复合物,等离子清洁机处理后都可以有效地提高附着力,从而提高最终产品的质量。等离子体处理是安全、环保、经济的,提高材料表面活性的方法。选择三种不同的射频频率来满足不同的清洗效率和清洗效果要求。操作更灵活,只需改变处理气体的类型和处理过程,不会对研究人员的身体造成损害,其成本与等离子体处理方法无关。
