功率晶体管之间的功率和电流失配是任何等离子体射频发生器都需要避免的结果。当其中一个晶体管驱动过猛,运行温度高于另一个晶体管时这个问题就会出现,对晶体管的可靠性造成负面影响。这类问题一般源于装置增益、输出负载或输入驱动强度的失配,这些都会导致晶体管的功率载荷不均。由于失配有很多种起因,所以解决这类问题不能光靠解决一条电路。因此我们的设计团队通过严格的设计和测试方法确保控制 nexion 2000 射频等离子体发生器载荷两个功率晶体管的电流,使两者几近相同,保持平衡。这就是对称均衡微分射频等离子体发生器的特点;其优点不仅是减小等离子体电势,还能增加等离子体发生器的 mtbf(平均故障间隔时间)
nexion 2000 icp-ms 的等离子体发生器配备了一个装有内置固件的 32b 微控制器(mcu)。mcu 执行数字控制回路,监测和管理等离子体的操作条件。它确保晶体管在工作电压和电流下运行,从而使出错的余地大化,避免同时发生电压击穿和电流故障。一个全新的特征是 mcu 可以在正常操作时实时监测功率晶体管的健康状态。当 mcu 检测出晶体管即将崩溃或故障刚刚发生时,mcu 会自动采取相应的措施并关闭等离子体发生器,从而避免部件被损坏。这个特征有助于延长功率晶体管的使用寿命。在操作过程中,mcu 还提供了一整套诊断信息,并通过 syngistix ™ icp-ms 软件与用户分享该信息。
