一、数据处理
由3d光学干涉仪得到的表面形貌数据是一组二维图像，通常会包括多组数据。在数据处理中，需要进行以下处理：
1.伪彩色映射：将不同高度值的灰度图像映射到不同颜色的曲面图上，增强显示效果，更加直观。
2.图像平滑：对于原始数据中存在的较小度数高频噪声，需要采用低通滤波器进行平滑处理，去除噪声干扰，使得曲面图更加清晰、平滑。
3.数据矫正：仪器可以呈现数字化数据，需要从仪器原始数据中提取样品实际尺寸和形状，进行数据矫正。
二、数据分析
在进行数据分析时，需要对处理后的数据进行分析和计算。
1.表面粗糙度：采用表面高度差和均方根的定义。
2.表面采样间距：分析采样间距及其对表面形貌误差的影响，确定采样间距。
3.法线向量：计算出曲面的法线向量，进而确定曲面的任意点上的切线平面及法向量，得到表面形貌的微观特征信息。
4.三维形貌分析：采用光学形貌分析软件对样品的三维形貌进行特征提取，包括曲率半径、径向、轴向等。
5.形貌偏差分析：对于生产制造中的实际工件，需要通过与标准数据进行对比计算形貌差异。
6.特征拟合：通过拟合特征曲线，确定其数学表达式，便于后续对其进行扩展应用。