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P33系列压电偏转镜用于高频激光加工

2024/3/13 17:18:22发布33次查看
在涉及到微米级小孔的超快激光加工应用中集成压电偏转镜,具有加工精度高、加工速度快等特点。已广泛应用于航天器件微小孔加工、异形孔加工等领域。
p33.t8s系列压电偏转镜是具有快速响应且体积紧凑等特点的偏转平台,提供顶端面的高精度角度运动,与其他执行器相比,柔性铰链导向的压电偏转平台可提供更高的加速度,使阶跃响应时间在亚毫秒范围。p33.t8s在10mrad满行程工作频率达50hz,可连续工作15天。
特点
• 二维θx、θy 偏转
•偏转范围可达12.5mrad
•亚毫秒响应时间
•闭环定位精度高
• 温度稳定性高
高动态闭环精度高
在机械结构的合适位置采用应变传感器来得到高稳定性及定位精度,他们提供了较高的带宽并向控制器发送定位反馈信号,传感器以桥式配置连接以消除热漂移从而确保优质的稳定性。
技术参数
型号:p33.t8s
运动自由度:θx、θy
行程范围(0~120v):10mrad(≈2060”)/±5mrad(≈±1030”)
行程范围(0~150v):12.5mrad(≈2500”)/±6.25mrad(≈±1250”)
闭环传感器:sgs
闭环分辨率:0.5μrad(≈0.1”)
闭环线性度:0.25%f.s.
闭环重复定位精度:0.02%f.s.
空载谐振频率:3.1khz
闭环空载阶跃时间:8ms
静电容量:14.5μf/轴
材质:钢
重量:340g
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