螺杆真空泵是有螺杆式压缩机演变而来，其工作原理是一对平行的螺杆状的转子作反向旋转，通过两个转子与泵腔形成的密封腔容积的变化而将气体压缩出去，转子与转子之间，转子与泵体之间没有摩擦而保持一定的间隙，所以寿命长且噪音低。维护方便，如泵腔内进入污物需清洗时，只需打开泵吸气口边上的阀门，吸入适量的水或清洗剂，开启泵运行数分钟后即可，无需拆卸整台泵。
油旋片泵 因被抽介质含水汽，煤油，变压器油等，长时间使用会与真空泵油混合在一起，因而需要经常更换油 有油烟产生，会污染周围环境 因旋片旋转磨损需要经常换旋片、排气阀 极限真空较高，长时间使用，随着油污染和泵腔，旋片磨损而性能下降 无法抽除腐蚀性介质 无法实现介质回收 维护复杂
干式无油螺杆真空泵 泵腔内属于干式的，无需换油 泵是干式的，不产生任何排出物，对环境无污染 泵腔内无接触，无磨损 极限真空高，转子不接触，长时间使用无磨损，性能基本不下降 经过防腐处理后可抽除有腐蚀性的介质 可以实现介质回收 基本不用维护