作为材料表面分析的重要工具，x射线光电子能谱仪应用广泛，不仅可以分析材料表面的元素化学信息，还可以进行微区和深度分布等分析。x射线光电子能谱仪的测试量通常较大，因此在使用过程中需要对仪器进行合理维护，使仪器保持良好的工作状态，延长使用寿命。x射线光电子能谱仪的日常维护可以从真空系统、循环水系统和气路系统触发。
真空系统的维护
1.制备样品时需要保证样品在超高真空及x光照射条件下不分解，不释放气体。
2.样品在进样室中应充分抽气。
3.保持进样室门的清洁。
4.定期运行钛升华泵以吸附影响真空的反应气体。
5.在环境温湿度高的情况下需要采取降温和除湿的措施。
循环水系统的维护
1.若冷却水的漏电流高于10 ma需要更换循环水。
2.经常清洗水冷机的滤网和金属过滤球，定期清洗仪器机柜可坼卸前面板的散热器滤网。
3.建议每半年更换一次去离子水或蒸馏水，可以加入约500 ml乙醇以防止藻类植物和微生物的生长。
气路系统的维护
1.压缩空气的压力需维持0.3~0.7 mpa之间。
2.当压缩空气压力较低时需要及时更换空气钢瓶。更换高纯氮的气体钢瓶时需要用肥皂水检查气路接口的气密性。