臭氧发生器按原理可以分为：电晕放电式、电解式、紫外照射式、核辐射式（一般应用的是电晕放式电式臭氧发生器。它是由臭氧管、臭氧电源、气源装置及电控装置组成）。
在紫外线辐射下，通过电子放射或者是暴晒从双原子氧气中自然形成臭氧。工业上，用干燥的空气或氧气，采用5~25kv的交流电压进行无声放电制取。另外，在低温下电解稀硫酸，或将液体氧气加热都可制得臭氧。因为臭氧的不稳定性，一般的臭氧都是现场制成。一般常用的臭氧的方法是电解法，将水电解变成氧元素，然后使其中的自由氧变成臭氧。
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