只需将探头靠近测量点即可进行高速微位移测量。不需要补偿麻烦的工作反射。
新插件模块atp203！响应能力和分辨率进一步提高。
atw200的特点3mhz高速响应！非常适合分析压电元件和高速振动现象！
纳米级分辨率！它测量真实的位移，而不是速度，因此您不会错过低频下的微小位移！
配备可变低通滤波器，可实现最佳响应速度和分辨率。
轻松设定！只需将其靠近工件并仅执行一次反射率校正即可！
测量原理atw200是一款差动光纤位移计。我们专有的差分光纤排列 实现了纳米级的高分辨率和 3 mhz 的高速响应，同时抑制了待测工件反射率的影响。
如图1所示，光纤束在测量端布置的发射光纤、接收光纤a和接收光纤b的相对侧分支成三个分支。当来自光源的光倾斜入射到发射光纤时，光从测量端面射出，如图2所示，在测量表面上反射，进入接收光纤。此时，反射光变成环形，其直径根据测量间隙而变化。和信号pa+pb是总反射光量，差信号pb-pa根据间隙变化，如图 4 所示。差信号除以和信号得到的信号与被测物体的反射率无关（图5）。
应用实例非常适合压电元件的振动测量、高速振动现象分析、镜面旋转体的偏转测量、扫描探针显微镜的探针位移测量等。
规格放大器单元｜插件模块｜分辨率示例
关键词：显微镜