1. 对装置本机以及电器设备、贮罐、抽真空和真空度的测量
2. 对电器设备中的气体进行回收
3. 对回收和回充的sf6气体进行干燥、净化处理
4. 对sf6电器进行充气
5. 对电器中sf6气体进行压缩液态贮存
流程说明：
1、sf6气体的回收
当sf6从一个气室中抽出时，气体便自动地流经净化过滤器，通过sf6压缩机压缩冷却，可以气态也可以在一定高压下以液态形式储入sf6贮罐。
2、sf6开关抽真空
通过真空泵把开关中的空气及湿气可以抽除，真空泵的出口通向大气。
3、充气
经净化和干燥的sf6从贮罐充回到已抽成真空的气室中，直到气室内压力达到调定的工作压力。上述工作分两个步骤进行:
借助sf6贮罐压力使气体流向sf6开关，直至达到预定的充气压力。