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敞开式光栅尺在自动化行业的应用

2024/3/1 8:57:25发布20次查看
工控摘要:敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测量的机床和系统,它消除了滚珠丝杠温度特性和运动特性导致的误差,反向误差。
典型应用包括:
半导体工业的测量和生产设备
电路板组装机
精密机床
高精度机床
测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备
直接驱动
?产品系应用
lic敞开式直线光栅尺用于测量高速运动的行程达27m内的位置。其尺寸和安装方式与lida400相同.
lip敞开式直线光栅尺的测量步距非常小、精度和重复精度非常高。扫描方式为干涉扫描,测量基准为diadur相位光栅。
lif敞开式直线光栅尺的测量基准是supradur玻璃基体光栅,扫描方式为干涉扫描。特点是精度和重复精度高,安装简单,有限位开关和回零轨。特殊型号的lif481v可用于10–7bar的真空环境中(参见其单独“产品信息”)。
lida敞开式直线光栅尺特别适用于运动速度达10m/s的高速运动应用,支持多种安装方式,安装简单。根据相应应用要求,metallur光栅的基体可为钢带,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位开关。
?pp双坐标编码器的测量基准是一个平面diadur相位光栅,扫描方式为干涉扫面。用于测量平面中位置。
机械结构
敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅尺和读数头,光栅尺和读数头间无机械接触。敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安装面上。安装面的平面度直接影响直线光栅尺精度。
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