电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(tft-lcd)等微电子工 业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性 有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板级)，纯度高的用于电子晶片 生产过程的清洗和浊刻(称为ic 级)。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机 磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。
产业链 制作工艺 电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备 的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺:
1)用高纯磷制备电子级磷酸;
2)用高纯三lvhualin制备电子 级磷酸;
3)用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有:
1)磷酸的净化精制法;
2)有机溶剂萃取法;
3)冷冻结晶法;熔融结 晶法;
4)其他净化法其他的净化方法有电渗析:电渗析法;膜分离。
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