为解决部分快刀加工问题，芯明天专门设计研发了p93系列快速刀具定位台及控制系统，它采用pzt压电陶瓷驱动，并使用电容式闭环传感器，具有非常高的定位精度，可达几纳米。
p93系列快速刀具定位台及e01.d1压电控制器
该压电快速刀具定位系统的控制原理是通过模拟或数字控制输入信号，控制e01.d1压电控制器输出控制电压，施加到p93快速刀具定位台，再由定位台内部的电容传感器实时检测定位台的运动位移，将电容传感信号反馈到e01.d1的电容传感模块，再经过e01.d1的伺服传感模块进行信号处理，再对输出电压进行调节，该闭环控制的响应时间在几毫秒至十几毫秒间。
技术参数
快速刀具定位台型号：p93.x70c
标称行程范围：65μm@120v
行程范围：81μm@150v
传感器：cap
闭/开环分辨率：7/3nm
闭环线性度：0.05%f.s.
闭环重复定位精度：0.03%f.s.
俯仰/偏航/滚动：<15μrad
推/拉力：400/50nm
运动方向刚度：5n/μm
空载谐振频率：0.15khz
闭/开环空载阶跃时间：10/7ms
闭环空载工作频率：50hz@10%行程
闭环空载工作频率：100hz@行程
承载能力：20kg
静电容量：15μf
材质：钢
重量：4kg
工作温度：10~50℃
压电控制器型号：e01.d1c
通道数：单通道
输出电压：0~120v/150v
带宽：10khz
传感输出电压：0~10v
自发波形：正弦/方/三角/锯齿波
液晶键盘控制
上位机软件控制
vc++,matlab,labview等
rs-232、rs-422、usb通信接口
支持二次开发
尺寸图