真空泵厂家普诺克真空科技总结出罗茨真空泵常用的冷却方法有两种，一种是在排气侧装上后冷却器，冷却的原理是，散热片的一端设在转子头扫过的周围，散叶片的长度等于转子的轴向长度。如果没有冷却器，排气回流通过间隙流过的热气体将会对转子加热。如果设置水冷却器，转子就可以用回流的已被冷却的气体来冷却。用这种后冷却器，许可压差达85torr，还可以正常运转。如果没有冷却器，大许可压差为20torr，采用冷却器能带走相当于压缩功80％的热量。
另一种方法是利用通过转子内部来冷却转子的方法，冷却油也被用来润滑轴承和齿轮，把循环的油封在系统内。工作时，转子的温度往往比泵体低。随着气体负荷的增加，转子和泵体之间的温差也随之增大，这样一来，就可能引起泵内间隙增大，而使抽速降低。为了避免这种情况的发生，以泵的负荷大小来调节循环油量的多少。在负荷特别大时，也可考虑对泵体进行冷却。以保持原始的间隙值。
罗茨真空泵通过输送和压缩必须从转子传递到套管的气体产生热量。然而，在低压下，气体传导热量并且对流极差，因此转子吸收的热量不容易消散，导致转子温度总是高于壳体的温度。由于转子的热膨胀，转子和转子之间以及转子和泵壳之间的间隙减小，特别是在高压差的情况下，这是特别严重的，甚至导致转子被卡住，泵被损坏。为了使罗茨泵在较高的压差下工作以扩大使用范围并提高泵的可靠性，有必要尝试消散转子产生的热量，即冷却转子。