1、x传动、y传动、x光栅尺、y光栅尺出厂时均调好（不得随意拆装），使用中应注意不要用力过猛或撞击，搬动主机时应安装好工作台固定块，避免撞击工作台或工作台移动撞击造成三次元测量仪误差。
2、当总电源接通时主机不工作（指示灯不亮、轴流风机不转），检查电源插座是否有电，电源插头与插座接触是否良好，电源板上的保险丝是否烧断。
3、光学镜头和光学零件清洁时，用酒精yi醚的混合液（1：4）轻轻擦拭，也可用毛刷轻轻拂去上面的灰尘或用干净的“洗耳球”吹去上面的灰法。
4、手不要触摸三坐标测量仪投影屏，投影屏如有手印或油渍时，只能先用洗洁精轻轻擦拭，再用脱脂纱布粘少许清水擦拭干净，直到满意为止。仪器应放置在振动小、干燥、清洁的环境里
5、室温应保持在20度正负5度，相对湿度不应该超过60%，以防三次元测量仪发霉生锈而造成质量下降，仪器在不使用时应用防尘布罩上，将裸露的金属表面涂上防锈油脂。
做到上述五点就可以保养好三坐标测量仪了，只有了解这些方面的保养措施才能正常的使用它。