一旦你确定了如何以及在何处使用三坐标测量机，有一些关键的性能需要进行考察，这包括了测量不确定度和工作效率。根据现行的国际标准，对于测量机的不确定度和检测程序在iso 10360中进行了描述。
iso 10 360主要确定了以下三项误差：
a. 长度测量*大允许示值误差 mpee (iso 10 360-2 )
在测量空间的任意7种不同的方位，测量一组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次。
所有测量结果必须在规定的mpee值范围内。
b. *大允许探测误差 mpep (iso 10 360-2)
25点测量精密标准球，探测点分布均匀。*大允许探测误差mpep值为所有测量半径的*大差值。
c. *大允许扫描探测误差 mpethp (iso 10 360-4)
沿标准球上4条确定的路径进行扫描。*大允许扫描探测误差mpethp值为所有测量半径的*大差值。
在可接受不确定度水平上采集点的数量，确定了测量机的工作效率。一些测量机能够在一分钟内采集超过100个数据点，而可以达到非常接近计量型的精度。