根据工作原理划分,压力传感器可分为电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、.电感式压力传感器、压阻式压力传感器、谐振式压力传感器、电容式压力传感器等。其中压阻式结构是日前研究热、成果多的一种,它有着高精度、高灵敏度、高频响等优点。压阻式压力传感器是一种新型压力 传感器。它的前身是平膜应变传感器,因此基本测量原理与平膜应变传感器相同。但它以是半导体材料作为感应膜片,在膜片上使用集成电路扩散工艺制成四个等值压敏电阻,组成惠斯顿电矫,当膜片受力后、由于材料的压阻效应。压敏电阻值发生变化,使电桥平衡破坏从而输出电信号以测得压力的变化,感应膜片结构已成为影响压阻式压力传感器性能的关键。
