1、平板卧式电极真空等离子清洗机
这是常见的电极结构。金属电极层之间有相同的区域,等离子体放电更均匀,可以放置在括号中间电极,要处理的产品可以放置在括号,层间距可调,孔或水冷电极上可以添加。除薄膜、轧辊、粉体等产品或材料不能处理外,其他均可处理。
2、平板组合式真空等离子体清洗机
与led、pcb、金属引线框产品类似,它们经常被放置在夹具中进行等离子清洗,平板复合电极结构应运而生。根据夹具的尺寸和生产能力,可设计成多仓加工空间。这种结构的生产率比较高,但是夹具需要两边开槽。同时,夹具中间的产品处理效果不如上下两层,等离子体放电均匀性不够。
3、平板立式电极真空等离子清洗机
这种电极结构不容易将水平电极改为垂直电极。应充分考虑金属电极层间距、等离子体放电均匀性、电极板的温度控制以及产品或材料的放置。该产品通常以两种方式放置:夹紧或钩住电极之间的物品;用夹子和钩子夹住卡车来处理货物,该结构的等离子体放电均匀性优于水平电极。
关键词:等离子清洗机
