微差压传感器被测介质的两种压力通入高、低两压力室，作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上，通过隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧。测量膜片与两侧绝缘片上的电极各组成一个电容器。当两侧压力不一致时，致使测量膜片产生位移，其位移量和压力差成正比，故两侧电容量就不等，通过振荡和解调环节，转换成与压力成正比的信号。
微差压传感器的特点是超灵敏度和稳定的偏移量。该芯片基于热式气体流量测量并内置了一个微流体通路。这个非常狭窄的微流体通路降低了流进气体的流速。极低的气体流速保证了传感器连接管路和滤器后不必重新校正